特徴

世界初　粗さ・輪郭形状測定用デュアルセンサ搭載
ハイブリッド検出器（特許取得済）

東京精密が独自に開発した「デュアルセンサテクノロジ」
( 特許取得済)。この高精度化技術を搭載する世界初の新型ハイブリッド検出器です。従来の検出器とは異なり、広範囲時に安定した精度のリニアスケールと、狭範囲ながら高分解能の差動インダクタンス、この異なるセンサをデュアル化。これらの２つのセンサを測定時に同時センシングすることで、センサのポテンシャルを最大限に引き出します。
また、新型ハイブリット検出器は、当社従来機をご利用のお客様にもお使い頂けるよう、従来のリニアシリーズ（DX2/SD2 以降）との互換性も有しています。

表面粗さ測定用検出器

高倍率・広範囲測定に対応した粗さ測定検出器です。検出器の外径は14 ｍｍで測定範囲1000 μｍ、測定倍率は50 万倍まで対応します。また、オートストップ機能付きで上向き測定や横トレース測定も可能です。

輪郭形状測定用検出器

リニアスケールを搭載した汎用タイプの検出器と半導体レーザ光回折スケールを搭載した高精度タイプの検出器より選択できます。

一度設定した照明条件を自動で再現
人による誤差を解消できます。